Нанопроводники – это просто!
Ученым из Канады удалось создать новую технику производства матриц железных нанонитей на кремниевых базах.
Как говорят ученые, новая разработка полимерной обработки разрешит наносить проводники на интегральные схемы с большей точностью и более компактно.
Практически, это указывает очередной ход в миниатюризации кремниевой электроники. Кроме этого новая разработка будет пользуется спросом в производстве разнообразных наносенсоров и наноэлектромеханических устройств.
Джиллиан Буряк (Jillian Buriak) и ее коллеги из Университета Альберты (University of Alberta), Канада, смогли наносить на кремний полимерные слои с разрешением до 20 нанометров. Классическая фотолитографическая техника на сегодня оперирует с разрешениями от 100 нанометров, исходя из этого полимерный способ, созданный учеными, достаточно привлекателен для микроэлектронного производства.
Рис. 1. Формирование нанонитей и плазменная обработка
Ученые смогли нанести на кремниевую положку последовательность узких (до 15 нанометров в поперечном сечении) линий из PS-P2VP полимера, каковые появились посредством самосборки.
Потом, Буряк и ее коллеги химически металлизовали отдельные домены полимера P2VP, после этого, добавив кислоты к полимерной структуре, ученые добились формирования из доменов нанонитей. После этого полимер был удален посредством плазменной обработки, а нанонити сформировались цельной наноструктурой на поверхности кремния.
По окончании проведения плазменной обработки, ученые взяли матрицу нанопроводников шириной всего 10 нанометров, что, конечно, отлично для микроэлектронных компонентов.
На сегодня исследователи взяли матрицы нанонитей из платины, палладия и золота. Джиллиан уверена, что полимерная разработка производства может распространяться на другие железные материалы, среди них и магнитные сплавы.
Свидиненко Юрий
